微光学和纳米光学制造技术 (美) Shanalyn A. Kemme 机械工业出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载【高清原版 非扫描版】
《微光学和纳米光学制造技术》(美) Shanalyn A. Kemme 机械工业出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载【高清原版 非扫描版】
图书简介:
本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、 最新的制造工艺, 重点强调了关键性的专业技巧, 提供了最新的技术信息, 内容包括面浮雕衍射光学元件、 微光学等离子体刻蚀加工技术、 使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、 光学器件的电子束纳米光刻制造技术、 纳米压印光刻技术和器件应用、 平面光子晶体的设计和制造、 三维 (3D) 光子晶体的制造———钨成型法。
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